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高真空综合运行系统

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高真空综合运行系统

  • 所属分类:其它检测试验设备

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  • 发布日期:2021/06/23
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详细介绍

高真空校验装置真空镀膜生产装置高真空环境测试系统

系统采用国际知名品牌真空获得设备,高精度压控配件,结构紧凑、功能齐全。根据用户需求提供专业贴心设计。

技术参数:

检验室极限真空值:

· ≤1×10-6Pa;

检验室不烘烤极限真空值:

· ≤1×10-5Pa;

检验室烘烤温度:

室温~200℃±5°

设备漏率

1×10-10Pam3/s

检验室压力调节范围

1×10-5Pa~1×105Pa

检验室压力调节精度


±0.01Pa

· 扩展不确定度Urel≤5%,(k=2),系统的综合校正误差度≤3%;


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